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Horiba質量流量控制器SEC-N100系列特點： 1、直接測量管道內(nèi)流體的質量流量 2、工作穩(wěn)定可靠 3、適應的流體介質面寬 4、廣泛的應用環(huán)境 5、多種實時在線測控功能 6、可擴展性好

Horiba質量流量計 SEC-E40V SEC-E40V是國產(chǎn)化的SEC -E40, 進口核心部件，國內(nèi)組裝 具備自動調零功能 高精度 高速響應 配備應對各種用途的機型

SEC-Z512多用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供進口Z514、Z524，保修期1年。

SEC-N112系列特點：1、直接測量管道內(nèi)流體的質量流量2、工作穩(wěn)定可靠3、適應的流體介質面寬4、廣泛的應用環(huán)境5、多種實時在線測控功能6、可擴展性好

Horiba氣體質量流量計S500 低成本、模擬式，最大流量30L/min， 質量流量控制器： 質量流量控制器是一種可直接測量氣體的質量流量并進行流量控制的設備。 不因環(huán)境溫度和使用壓力等條件的變化而改變，可實現(xiàn)高精度且穩(wěn)定的流量控制，應用于各種工業(yè)領域。

Horiba 質量流量計SEC-N170$n通訊模式：數(shù)字式、模擬式、$nDeviceNet、CC-Link、PROFIBUS$n滿量程范圍 ：1000SLM$n高精度$n高速響應$n適用于不同工藝

Horiba自動壓力控制器R600 HORIBA壓力控制器的基本特點 1、控制類型：背壓控制 2、壓力范圍：300kpa 3、閥門類型: 電磁閥（常閉） 4、輸出：模擬0-5V或者數(shù)字RS485

Horiba質量流量計 SEC-8000 高精度 ±1.0% 設定點 高速響應 超潔凈設計 符合 RoHS 標準

Horiba質量流量計 SEC-Z500X 高精度 ±1.0% 設定點 該質量流量控制器的線性度由多項式近似曲線補償，并實現(xiàn)在所有流量控制范圍內(nèi)的高精度。為提高實際氣體精度，不同工藝氣體的標定數(shù)據(jù)由 HORIBA STEC 公司的標準氣體測量系統(tǒng)測量。 高速響應 裝配“可變 PID 系統(tǒng)”，可在任意兩個設定點之間實現(xiàn) 1 秒響應?？勺?PID 根據(jù)流量點設置不斷變化。在滿量程