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Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計

  • 產(chǎn)品型號:
  • 更新日期:2025-04-01

簡要描述:Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計采用新的螺旋流加熱方法,即使在低溫下也能實現(xiàn)穩(wěn)定汽化。適用于包含 “High-k"工藝液體在內(nèi)的一系列液體源的汽化??蓪崿F(xiàn)高沸點(diǎn)液體的穩(wěn)定汽化。

· 氣液混合物汽化方法確保穩(wěn)定地汽化高沸點(diǎn)液體

· 氣液混合部分溫度可到MAX140℃

· 蒸發(fā)區(qū)汽化溫度MAX 200℃

產(chǎn)品詳情

Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計

液體混合注入,汽化能力20g/min(TEOS)

 

 

HORIBA 是半導(dǎo)體行業(yè)高性能汽化系統(tǒng)的供應(yīng)商之一。HORIBA 液體源汽化器貫穿整個半導(dǎo)體制程,可以安全有效地將液相化學(xué)品以氣相形態(tài)輸送至使用點(diǎn)。無論液態(tài)化學(xué)品是需要在真空下還是大氣壓下汽化,HORIBA 的汽化技術(shù)都能提供符合要求的汽化系統(tǒng)。包括:汽化器VC系列、汽化器MV系列、汽化器VE系列。

暢銷型號:VC-1420、MV-1000、MV-2000、VE-10、VE-30.


MV-2000 系列采用新的螺旋流加熱方法,即使在低溫下也能實現(xiàn)穩(wěn)定汽化,實現(xiàn)流量計的流量測量功能。適用于包含 “High-k”工藝液體在內(nèi)的一系列液體源的汽化。

Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計可通過使用氣液混合物汽化方法快速汽化各種液體源。該方法可實現(xiàn)高沸點(diǎn)液體的穩(wěn)定汽化。

· 氣液混合物汽化方法確保穩(wěn)定地汽化高沸點(diǎn)液體

· 氣液混合部分溫度可到MAX140℃

· 蒸發(fā)區(qū)汽化溫度MAX 200℃

· 汽化效率高于傳統(tǒng)汽化方法

· 產(chǎn)生更大流量

· 汽化溫度降低

Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計

 

測量技術(shù) 注入方式
以下是汽化液體源并將其輸送到處理室的主要步驟。
1. 載氣和液體在控制閥中混合。
2. 液體在蒸發(fā)區(qū)瞬間汽化。
3. 氣體被釋放,防止凝結(jié)成液態(tài)。

技術(shù)參數(shù)

型號

MV-2000

液體名稱

除腐蝕不銹鋼的液體外(如. HCl, HF)

汽化能力(參考)

20g/min (TEOS) 2g/min (H2O)

耐溫

混合閥部分 : Max140℃  汽化部分:Max200℃

泄露率

≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s (He)

接液材質(zhì)

SUS316L , PFA

溫度探頭

K型熱電偶

耐壓

1MPa (G)

標(biāo)準(zhǔn)接口

液體入口: 1/8 VCR公頭;  載氣入口:1/4 VCR母頭;

 氣體出口: 1/2 VCR公頭

環(huán)境溫度

15 - 50 ?C

可選項

氣體閥(內(nèi)漏率: ≤ 1×10-9 Pa · m3 / s(He) )

 

 

 
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